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2021-12-10 05:03:01  1553次浏览 次浏览
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高纯水的国家标准为:GB1146.1-89至GB1146.11-89[168],目前我国高纯水的标准将电子级水分为五个级别:级、级、级、级和级,该标准是参照ASTM电子级标准而制定的。

高纯水的水质标准中所规定的各项指标的主要依据有:

1.微电子工艺对水质的要求;

2.制水工艺的水平;

3.检测技术的现状。

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