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真空伺服电机产品用于真空、高温、深低温特殊环境,由于技术的特殊性,本公司研究开发多种新工I艺和新设备

高低温特种伺服电机电动缸 + 真空电机 真空步进电机

真空伺服电机 + 耐高低温特种电动推杆+特种高低温步进电机

高低温电缸 低温电缸 普通电缸

高温低温电机-高低温伺服电机电动缸推杆

真空模组，可在10-7PA的真空环境下运行，耐温达200℃，真空模组的设计首要考虑机构和材料。此系列产品大部分组件采用不锈钢加工或热膨胀系数相当的并且出气率低的材料。此系列产品主要应用于真空室。高温室，高洁净度环境。

特点：

一体化设计，可靠易用

标准化设计制造60，90，,120三种规格，可定制其他规格

工作环境温度-196℃至200℃

适用真空度10-7PA

模块化设计

免维护设计

承载，导向，驱动一体

高承载，高精度，高速度

简单易用，可靠性高，以保证率

伺服电机与电动缸的传动丝杆直接相连接，使伺服电机的编码器直接反馈电动缸移动活塞杆的位移量，减少了中间环节的惯量和间隙，提高了控制性和控制精度。伺服电机与电动缸整体相连，安装容易、设定简单、使用方便。

可靠、优异、紧凑的执行器助您优化机器设计并节约能源

提供更的特殊应用环境解决方案

精度可达0.03mm,重复定位精度可达0.01mm

工作环境温度：-50℃至120℃

规格32.40.50.63.80.100，有杆电缸，带滚珠丝杆或滑动丝杆，带滚珠轴承